ULPA FILTER
입경 0.1~0.12㎛의 분진을 99.9999% 이상 포집하는 초고효율 필터입니다. Class 1~10 슈퍼 클린룸, 초고집적(VLSI) 반도체 공장, 클린벤치, 유전자 연구, 우주항공 분야 등에 적용됩니다.
포집 효율
99.9999% @0.1㎛
- 슈퍼 클린룸 (Class 1~10)
- 초고집적(VLSI) 반도체
- 클린벤치
- 유전자 연구
- 우주항공
재질 구성
- MEDIA
- MICRO GLASS FIBER
- FRAME
- ALUMINUM
- SEPARATOR
- ALUMINUM, KRAFT PAPER
- SEALANT
- POLYURETHANE RESIN
- GASKET
- NEOPRENE RUBBER
규격 및 성능
| 형식 | 규격 (mm) | 초기 압력손실 (mmAq) | 말기 압력손실 (mmAq) | 정격풍량 (CMM) | 효율 (0.1~0.12㎛) | 무게 (kg) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| YRU-667 | 610×610×75 | 8.5 | 17 | 7.8 | 99.9999% (0.35m/s) | — |
| YRU-697 | 610×915×75 | 11.7 | — | |||
| YRU-6127 | 610×1220×75 | 15.6 | — | |||
| YRU-661 | 610×610×150 | 25.4 | 50 | 17 | 99.9999% (0.84m/s) | 7.0 |
| YRU-671 | 610×762×150 | 21 | 8.0 | |||
| YRU-691 | 610×915×150 | 26 | 9.5 | |||
| YRU-6121 | 610×1220×150 | 34 | 14.0 | |||
| YRU-667-L | 610×610×75 | 11 | — | |||
| YRU-697-L | 610×915×75 | 15 | — | |||
| YRU-6127-L | 610×1220×75 | 22 | — | |||
| YRU-661-L | 610×610×150 | 24 | 7.0 | |||
| YRU-671-L | 610×762×150 | 28 | 8.0 | |||
| YRU-691-L | 610×915×150 | 36 | 9.5 | |||
| YRU-6121-L | 610×1220×150 | 48 | 14.0 |
-L 은 저압손실형(다풍량). 규격품 외 주문 제작 가능.
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