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FFU ULPA / HEPA FILTER
팬 필터 유닛(FFU) 전용으로 설계된 저압손실형 필터입니다. 0.1㎛ 기준 99.99995% 이상의 ULPA 등급과 0.3㎛ 99.97% HEPA 등급 중 선택할 수 있으며, 초기 압력손실 9.5mmAq 이하(0.35m/s)로 Class 1~10 클린룸에 적용됩니다.
포집 효율
99.99995% @0.1㎛ / 99.97% @0.3㎛
- FFU (팬 필터 유닛)
- 클린룸 (Class 1~10)
- 반도체·디스플레이
재질 구성
- 매체
- Glass Fiber
- 개스킷
- Neoprene Sponge
- 프레임
- Aluminium
- 밀봉제
- Polyurethane
- 분리재
- AL, Kraft Paper, Hot Melt
규격 및 성능
| 형식 | 규격 H×W×D(mm) | 효율 | 풍량(CMM) | 초기 압력손실(mmAq) | 말기 압력손실(mmAq) |
|---|---|---|---|---|---|
| YRFU-515 | 572×1172×50 | 99.99995%↑ (0.1㎛) | 15 | 9.5 | 19 |
| YRFU-517 | 572×1172×75 | 99.99995%↑ (0.1㎛) | 15 | 9.5 | 19 |
| YRFU-5112 | 572×1172×120 | 99.99995%↑ (0.1㎛) | 15 | 9.5 | 19 |
| YRHF-515 | 572×1172×50 | 99.97%↑ (0.3㎛) | 15 | 9.5 | 19 |
| YRHF-517 | 572×1172×75 | 99.97%↑ (0.3㎛) | 15 | 9.5 | 19 |
| YRHF-5112 | 572×1172×120 | 99.97%↑ (0.3㎛) | 15 | 9.5 | 19 |
규격품 외 주문 제작 가능.
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